发明名称 具有陶瓷平台的压力传感器
摘要 本发明公开了一种压力传感器,其具有:陶瓷基体(1);布置在基体(1)上的测量膜(3、41);包围在测量膜(3、41)下的基体(1)中的压力测量室(5);以及,至少一个金属体,所述金属体使用耐压密闭的、优选地无弹性体的机械连接(7、37,49)连接到基体(1),其中,通过下述事实来减小由连接(7、37,49)引起的热机械应力:使用布置在基体(1)和金属体之间的调节体(9、19、39、51)实现的耐压密闭机械连接(7、37、49),其中,调节体具有热膨胀系数(α(z)),该热膨胀系数在从基体(1)到金属体的方向(z)上从对应于基体(1)的陶瓷的热膨胀系数(α<sub>k</sub>)的膨胀系数向对应于金属体的热膨胀系数(α<sub>M</sub>)的膨胀系数增大,并且调节体(9、19、39、51)通过第一接头(11)连接到基体(1),并且通过第二接头(13)连接到金属体。
申请公布号 CN106233111A 申请公布日期 2016.12.14
申请号 CN201480078168.2 申请日期 2014.12.18
申请人 恩德莱斯和豪瑟尔两合公司 发明人 武尔费特·德鲁斯;埃尔克·施密特;托马斯·尤林;安德烈·贝林格尔
分类号 G01L9/00(2006.01)I;G01L13/02(2006.01)I;G01L19/00(2006.01)I;G01L19/06(2006.01)I;C04B37/02(2006.01)I 主分类号 G01L9/00(2006.01)I
代理机构 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 代理人 戚传江;金洁
主权项 一种压力传感器,包括:‑陶瓷平台(1),‑测量膜(3、41),所述测量膜(3、41)布置在所述平台(1)上,‑压力测量室(5),所述压力测量室(5)被包围在所述测量膜(3、41)下的所述平台(1)中,和‑至少一个金属体,所述至少一个金属体经由耐压密闭机械连接(7、37、49)与所述平台(1)连接,其特征在于‑所述耐压密闭机械连接(7、37、49)包括布置在所述平台(1)和所述金属体之间的适配体(9、19、39、51),‑所述适配体(9、19、39、51)具有下述热膨胀系数,所述热膨胀系数沿着所述适配体(9、19、39、51)在从所述平台(1)向所述金属体延伸的方向(z)上从对应于所述平台(1)的陶瓷的热膨胀系数(α<sub>k</sub>)的膨胀系数向对应于所述金属体的热膨胀系数(α<sub>M</sub>)的膨胀系数增大,并且‑所述适配体(9、19、39、51)通过第一接头(11)与所述平台(1)连接,并且通过第二接头(13)与所述金属体连接。
地址 德国毛尔堡