一种新型对称式小量程位移传感器

摘要

本实用新型公开了一种新型对称式小量程位移传感器，包括激光束、固定反射镜、移动反射镜、双反射镜、光电探测器和处理系统。运用该传感器，激光束被分为两束并分别反射到对应一侧的光电探测器上一个位置，改变固定反射镜和移动反射镜的间距，即会改变激光束的反射路径，最终照射到对应的光电探测器上另一个位置，处理系统根据这两组不同的两个位置计算得到两组探测距离值，这两组探测距离值远远大于固定反射镜和移动反射镜间距的真实改变值，处理系统能够通过这两组探测距离值的平均值来计算出固定反射镜和移动反射镜间距的真实改变值，该传感器结构简单，适用于被测物体位移连续变化的测量，测量可靠，精度较高，易于实现批量制造。

主权项

一种新型对称式小量程位移传感器，其特征在于，包括平行设置且间距可调的固定反射镜(2)和移动反射镜(3)以及处理系统，所述固定反射镜(2)和移动反射镜(3)两端对称设置两个光电探测器(4)，所述固定反射镜(2)和移动反射镜(3)之间设有双反射镜(7)，所述固定反射镜(2)上设有通孔(21)，穿过所述通孔(21)的一束激光束(11)入射到所述双反射镜(7)，被所述双反射镜(7)反射后分离为两束所述激光束(11)，两束所述激光束(11)入射到所述固定反射镜(2)上，经过所述固定反射镜(2)和移动反射镜(3)交替反射后，分别出射到对应一侧所述光电探测器(4)上被感应，所述处理系统用于处理每个所述光电探测器(4)接收到对应的所述激光束(11)的位置信息。