一种提高调整拼接和倍率大小的效率的方法

摘要

本发明公开了一种提高调整拼接和倍率大小的效率的方法，其特征在于：包括Gerber图形坐标系与CCD视像系统坐标系的重合校准、X、Y方向倍率大小调整、Y方向错位调整及X方向的拼接调整，而目前软件中绝大部分参数是需手动计算补偿，存在效率低、易出错等问题。此算法实现后，大部分参数的获得完全可以实现软件自动化，这将大大提高软件调试效率，缩短调试时间，提高生产效率。

主权项

一种提高调整拼接和倍率大小的效率的方法，其特征在于：包括以下几个过程：Gerber图形坐标系与CCD视像系统坐标系的重合校准、X、Y方向倍率大小调整、Y方向错位调整及X方向的拼接调整；Gerber图形坐标系与CCD视像系统坐标系的重合校准具体在于：在电脑里面画好一个标记点构成的Gerber格式的图案并输入光刻机内，安装好基板，启动光刻机使一个引擎曝光该标记点，曝光后保持基板不动，使用显影液显影标记点；在CCD视像系统中输入标记点的坐标值，通过CCD视像系统识别该曝光标记点并测得该曝光标记点的实际坐标值，然后与输入的坐标值比对后自动计算坐标差值后储存，以后CCD视像系统测得的基板上的曝光标记点的实际坐标值后都会自动加上这个差值进行校正，Y方向错位调整具体在于：根据引擎间距和数量在电脑里面画好由标记点构成的Gerber格式的图案并输入光刻机内，图案中的标记点的坐标的Y值相同，安装好基板，启动光刻机使每个引擎都在基板上曝光对应的标记点，曝光后保持基板不动，使用显影液显影标记点；在CCD视像系统中输入标记点的坐标值，通过CCD视像系统识别每个曝光标记点并测得每个曝光标记点的实际坐标值，然后与输入的坐标值比对后自动计算错位差值后传输错位差值到服务器配置文件修改相应的参数；X、Y方向倍率大小调整具体在于：在电脑里面画好由标记点构成的Gerber格式的图案并输入光刻机内，保证每个引擎在X和Y方向各有两个标记点曝光，安装好基板，启动光刻机使每个引擎都在基板上曝光对应的标记点，曝光后保持基板不动，使用显影液显影标记点，在CCD视像系统中输入标记点的坐标值，通过CCD视像系统识别每个曝光标记点并测得每个曝光标记点的实际坐标值，然后算出X方向上两个曝光标记点的实际距离及Y方向上两个曝光标记点的实际距离，与输入的标记点的距离比对后自动计算出X方向及Y方向上距离的倍率大小比值后传输比值到服务器配置文件修改相应的参数；X方向的拼接调整具体在于：根据引擎间距和数量在电脑里面画好由标记点构成的Gerber格式的图案并输入光刻机内，图案中的标记点的坐标的Y值相同，安装好基板，启动光刻机使每个引擎都在基板上曝光对应的标记点，曝光后保持基板不动，使用显影液显影标记点；在CCD视像系统中输入标记点的坐标值，通过CCD视像系统识别每个曝光标记点并测得每个曝光标记点的实际坐标值，然后算出两相邻曝光标记点的实际距离，与输入的标记点的距离比对后自动计算拼接差值，并将该拼接差值传输到服务器配置文件修改相应的参数。