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发明名称 APPARATUS FOR FORMING THIN FILM
摘要
申请公布号 KR930010338(B1) 申请公布日期 1993.10.16
申请号 KR19910010082 申请日期 1991.06.18
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP. 发明人 ITOH, HIROMOTO
分类号 C23C14/32;C23C14/22;(IPC1-7):C23C14/32 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
主权项
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