发明名称 POSITIONING DEVICE
摘要 Die Erfindung betrifft eine Positioniervorrichtung (1), umfassend ein Basiselement (2), ein relativ zum Basiselement (2) entlang einer z-Achse zu positionierendes Trägerelement (3) sowie wenigstens ein erstes und ein zweites Schiebeelement (11, 12), wobei das erste bzw. zweite Schiebeelement (11, 12) einerseits mittels einer ersten bzw. zweiten Basis-Führungseinrichtung (21, 22) entlang einer ersten bzw. zweiten Basislinie am Basiselement (2) und andererseits mittels einer ersten bzw. zweiten Steig-Führungseinrichtung (31, 32) entlang einer ersten bzw. zweiten Steiglinie an dem Trägerelement (3) verschiebbar angeordnet ist, wobei die erste bzw. zweite Steiglinie und die erste bzw. zweite Basislinie in Projektion entlang der z-Achse zueinander parallel und bezüglich der z-Achse mit jeweils konstanten, voneinander verschiedenen Neigungswinkeln verlaufen. Es ist vorgesehen, dass die erste und die zweite Steig-Führungseinrichtung (31, 32) derart zueinander angeordnet sind, dass in wenigstens einer Projektion senkrecht zur z-Achse die erste und die zweite Steiglinie bezüglich der z-Achse gegenläufig zueinander geneigt sind, so dass eine synchrone Verschiebung des ersten und des zweiten Schiebeelements (11, 12) relativ zum Basiselement (2) eine Verschiebung des Trägerelements (3) relativ zum Basiselement (2) ausschliesslich entlang der z-Achse bewirkt.
申请公布号 EP3103581(A1) 申请公布日期 2016.12.14
申请号 EP20150405038 申请日期 2015.06.11
申请人 Schneeberger Holding AG 发明人 Krauer, Patrick
分类号 B23Q1/44;B23Q1/60;G12B5/00;H01L21/68 主分类号 B23Q1/44
代理机构 代理人
主权项
地址