Prüfvorrichtung und Prüfverfahren für Substratoberflächen

摘要

Substratoberflächen-Prüfvorrichtung, die ein Bild einer Oberfläche eines Substrats (10) erfasst und das Substrat anhand des erfassten Bilds prüft, wobei die Substratoberflächen-Prüfvorrichtung aufweist: einen Trägermechanismus (20), der mit einer Anzahl erster Träger (23a–23d) und einer Anzahl zweiter Träger (24a–24d) versehen ist, die die Kanten des Substrats stützen und es freigeben können; eine Bildgebungseinheit (30a, 30b) die gegenüber der Oberfläche des Substrats angeordnet ist, das entweder von der Gruppe der ersten Träger oder der Gruppe der zweiten Träger in dem Trägermechanismus gestützt wird; einen Abtastbewegungsmechanismus (60), der die Bildgebungseinheit und den Trägermechanismus gegeneinander bewegt, so dass die Bildgebungseinheit die Oberfläche des Substrats in einer vorbestimmten Abtastrichtung abtastet und ein Bild davon erfasst; und einen Schiebebewegungsmechanismus (70), der die Bildgebungseinheit und den Trägermechanismus in einer Richtung quer zur Abtastrichtung zwischen einer ersten relativen Position und einer zweiten relativen Position bewegt, wobei: die Bildgebungseinheit in der ersten relativen...