粒子传感器

摘要

本发明涉及一种粒子传感器，其包括：膜片(1)，膜片加热装置(2)，和至少两个设置在膜片(1)上的用于测量导电性的测量电极(3，4)，其中膜片(1)具有小于或等于50μm的厚度(d)，以便能够实现用量热法确定粒子量。

主权项

一种用于检测气流中的粒子的粒子传感器，包括：‑膜片(1)，‑膜片加热装置(2)，和‑至少两个设置在所述膜片(1)上的用于测量导电性的测量电极(3，4)，其中所述膜片(1)具有大于或等于1μm至小于或等于50μm的厚度(d)，其中所述膜片加热装置(2)被构造在所述膜片(1)的主面上，并且在所述膜片(1)的相对的主面上构造所述测量电极(3，4)，其中所述膜片(1)在至少两个相对的部位上通过衬底浮置地保持，在所述衬底中集成有所述粒子传感器的分析电路和电子装置。