压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备以及电波钟

摘要

本发明提供能确保高驱动电平特性的压电振动片，以及利用该压电振动片的压电振动器、振荡器、电子设备以及电波钟。其特征在于，沟部(5)的基端侧的宽度比沟部(5)的前端侧的宽度窄，基部(4)具有：装配部(4a)，在其外表面形成有安装压电振动片(1)的装配电极(12、13)；中间部，以位于装配部(4a)与一对振动腕部(3a、3b)之间的方式与装配部(4a)和一对振动腕部(3a、3b)成排连接，在其外表面形成有连接一对激振电极(10、11)与装配电极(12、13)的引出电极(14a、14b)。装配部(4a)的宽度形成为比中间部(4b)的宽度宽，装配部(4a)的侧面与中间部(4b)的侧面，在装配部(4a)与中间部(4b)的阶梯部中，通过相对长度方向倾斜的倾斜面(4c)成排连接。

主权项

一种压电振动片，其中包括：一对振动腕部，并排地配置在宽度方向上；沟部，在所述振动腕部的两主表面上，从所述振动腕部的长度方向的基端侧向所述长度方向的前端侧形成；激振电极，形成于所述振动腕部以及所述沟部的外表面；以及基部，与所述一对振动腕部的所述基端侧连接，其特征在于，所述沟部的所述基端侧的宽度形成为比所述沟部的所述前端侧的宽度窄，所述基部具有：装配部，在其外表面形成有在外部安装所述压电振动片的装配电极；以及中间部，以位于所述装配部和所述一对振动腕部之间的方式与所述装配部和所述一对振动腕部成排连接，在其外表面形成有与所述一对激振电极和所述装配电极连接的引出电极，所述装配部的宽度形成为比所述中间部的宽度宽，所述装配部的侧面与所述中间部的侧面，在装配部与中间部的阶梯部中，通过俯视时相对于所述长度方向以易于顺着所述压电振动片的形成用圆片的结晶方向的方式倾斜的倾斜面成排连接，以减少所述装配部与所述中间部的倾斜面的蚀刻残余的偏差。