发明名称 |
一种多光束阵列振镜扫描系统 |
摘要 |
本发明公开了一种多光束阵列振镜扫描系统,包括振镜框体结构,所述振镜框体结构内部设有X轴阵列振镜系统和Y轴振镜系统,X轴阵列振镜系统或Y轴振镜系统为多个轴心线相互平行的振镜组成,经扩束镜扩束后的激光通过进光口进入阵列振镜扫描系统内部,光束到达X轴阵列振镜系统被平分为n束光强相同的平行光束,n束平行光束在X轴各个振镜偏转带动下实现在X方向任意移动,并投射到Y轴振镜系统上,在Y轴振镜偏转反射带动下,n组光束在Y方向上移动,最后该n组光束经过出光口并被F‑θ镜聚焦到成型平面上形成一组个数为n的光斑。通过本发明的技术方案,加工效率将会成倍增长,增长的倍数与振镜的阵列数目相同,极大的降低加工时间和加工成本。 |
申请公布号 |
CN106216832A |
申请公布日期 |
2016.12.14 |
申请号 |
CN201610750811.2 |
申请日期 |
2016.08.29 |
申请人 |
华南理工大学 |
发明人 |
宋长辉;王安民;杨永强;王迪;李阳 |
分类号 |
B23K26/06(2014.01)I;B23K26/067(2006.01)I;B23K26/082(2014.01)I |
主分类号 |
B23K26/06(2014.01)I |
代理机构 |
广州市华学知识产权代理有限公司 44245 |
代理人 |
李斌 |
主权项 |
一种多光束阵列振镜扫描系统,其特征在于,包括振镜框体结构(5),所述振镜框体结构上设有进光口(1)和出光口(4),所述振镜框体结构(5)内部设有X轴阵列振镜系统(2)和Y轴振镜系统(3),所述X轴阵列振镜系统(2)或Y轴振镜系统(3)为多个轴心线相互平行的振镜组成,经扩束镜扩束后的激光通过进光口(1)进入阵列振镜扫描系统内部,光束到达X轴阵列振镜系统(2)被平分为n束光强相同的平行光束,n束平行光束在X轴各个振镜偏转带动下实现在X方向任意移动,并投射到Y轴振镜系统(3)上,在Y轴振镜偏转反射带动下,n组光束在Y方向上移动,从而实现n组光束在X方向位置可控运动,在Y方向同步运动,最后该n组光束经过出光口(4)并被F‑θ镜聚焦到成型平面上形成一组个数为n的光斑。 |
地址 |
510640 广东省广州市天河区五山路381号 |