过渡金属化学气相沉积微纳增材制造装置与方法

摘要

本发明涉及一种过渡金属化学气相沉积微纳增材制造装置与方法，属于金属化学气相沉积微纳增材制造技术领域。混合气体瓶通过气体开关阀与气体流量计相连，气体流量计与反应室喷头相连，过渡金属丝通过过渡金属丝支撑架与反应室喷头内壁相连，反应室喷头外壁通过反应室环形热电偶与控温箱相连，沉积基底通过沉积室与三联动工作台相连，可移动式软盖板放置在沉积室的顶部，沉积室外壁通过沉积室环形热电偶与控温箱相连。优点是结构新颖，使用灵活方便，便于操作，实现金属微纳尺度低成本、高精度、高效率增材制造，能够实现化学气相沉积中的金属颗粒按照预定轨迹沉积，易于实现打印微纳过渡金属复杂三维形状的零部件。

主权项

一种过渡金属化学气相沉积微纳增材制造装置，其特征在于：氩气与一氧化碳混合气体瓶通过气体开关阀与气体流量计相连，气体流量计与反应室喷头相连，过渡金属丝通过过渡金属丝支撑架与反应室喷头内壁相连，反应室喷头外壁通过反应室环形热电偶与控温箱相连，沉积基底通过沉积室与三联动工作台相连，可移动式软盖板放置在沉积室的顶部，沉积室外壁通过沉积室环形热电偶与控温箱相连。