| 摘要 |
집적회로 소자는 제1 영역에서 기판으로부터 돌출되고 제1 도전형의 제1 채널 영역을 가지는 적어도 하나의 제1 핀형 활성 영역과, 제1 영역에서 적어도 하나의 제1 핀형 활성 영역의 양 측벽을 덮는 복수의 제1 소자분리막과, 제1 영역을 한정하기 위하여 기판 내부로 제1 소자분리막보다 더 깊은 레벨까지 연장되고, 복수의 제1 소자분리막의 일부와 접해 있는 제1 소자영역간 분리용 절연막과, 복수의 제1 소자분리막 및 제1 소자영역간 분리용 절연막 중 복수의 제1 소자분리막 내에만 형성되고, 제1 채널 영역에 제1 응력을 인가하도록 적어도 하나의 제1 핀형 활성 영역의 양 측벽을 따라 연장된 제1 스트레서 라이너를 포함한다. |
