| 主权项 |
1.一种搬送系统之位置对合方法,该系统包含有:搬送臂部,系备有一构成为可自由屈伸、旋回及升降之搬送臂本体、及一设在该搬送臂本体前端以保持被搬送体之保持部;移动机构,系用以移动前述搬送臂部;至少一个以上之容器载置台,系为了载置可收容多数个被搬送体成多层的卡式容器,而配置在前述保持部之移动区域内;方向定位装置,系备有一配置在前述保持部之移动区域内的旋转基准台、及一用以检出载置在旋转基准台的被搬送体之偏心量及偏心方向之位置姿势检出部;及控制部,系用以控制全体之动作,其特征在于上述搬送系统之位置对合方法包含有:输入工程——于前述控制部,预先输入对于定向器教导基准位置及容器教导基准位置的各个临时位置座标,其中定向器教导基准位置为旋转基准台上之给定位置,而容器教导基准位置为载置在容器载置台之前述卡式容器内的给定位置;移载工程——在根据定向器教导基准位置之临时位置座标的控制下,将正确地位置对合于前述保持部来保持之被搬送体搬送到前述旋转基准台,以进行移载;检出工程——藉位置姿势检出部来检出载置在前述旋转基准台之前述被搬送体的偏心量与偏心方向;补正工程——根据该所检出之偏心量及偏心方向,补正对于前述定向器教导基准位置的前述临时位置座标,以作为合适位置座标;移载工程——在根据容器教导基准位置之临时位置座标的控制下,将正确地位置对合于前述容器教导基准位置的被搬送体移载到前述旋转基准台;检出工程——藉位置姿势检出部来检出载置在前述旋转基准台的前述被搬送体之偏心量及偏心方向;及补正工程——根据该所检出之偏心量及偏心方向,补正对于前述容器教导基准位置之临时位置座标,以作为合适位置座标。2.如申请专利范围第1项所述之搬送系统之位置对合方法,其特征在于:前述移动机构,备有使搬送臂部移动之导轨;前述临时位置座标包含有:沿前述导轨之X座标,前述搬送臂部本体之屈伸量即R座标,前述搬送臂本体之旋回量即座标,及前述搬送臂本体之升降量即Z座标。3.如申请专利范围第1项所述之搬送系统之位置对合方法,其系在前述保持部之移动区域内,配置有一在内部备有用来载置前述被搬送体之被搬送体载置台且构成得可抽空之负载锁室;其特征在于更包含有:输入工程——将对于被搬送体载置台上之给定位置即负载锁教导基准位置的临时位置座标,预先输入于前述控制部;移载工程——在根据负载锁教导基准位置的临时位置座标之控制下,将正确地位置对合于前述负载锁教导基准位置之被搬送体,搬送到前述旋转基准台以进行移载;检出工程——藉位置姿势检出部来检出载置在前述旋转基准台之前述被搬送体的偏心量及偏心方向;及补正工程——根据该所检出之偏心量及偏心方向,补正对于前述负载锁教导基准位置之前述临时位置座标,以作为合适位置座标。4.如申请专利范围第3项所述之搬送系统之位置对合方法,其中:在前述负载锁室,连结有移载室;而在前述移载室,则连结有一具有用来载置前述被搬送体于内部之感应器的处理室;且在前述移载室设有移载臂部,此移载臂部备有:一构成得向内部自由屈伸及旋回之移载臂本体、及一设在移载臂本体前端以用来保持被搬送体之第二保持部;前述被搬送体,系在周缘部形成有缺口标记;前述位置姿势检出部,也可检出被搬送体之缺口标记之位置;其特征在于更包含有:输入工程——将对于感应器上之给定位置即感应器教导基准位置之临时位置座标,预先输入于前述控制部;移载工程——在根据感应器教导基准位置之临时位置座标的控制下,将正确地位置对合于感应器教导基准位置来载置的被搬送体,藉由前述移载臂部搬送到前述负载锁室,以进行移载;移载工程——藉由前述搬送臂部,将载置在前述负载锁室之前述被搬送体搬送到前述旋转基准台,以进行移载;检出工程——藉位置姿势检出部来检出载置在前述旋转基准台的前述被搬送体之偏心量、偏心方向及缺口标记之位置;补正工程——根据该所检出之偏心量及偏心方向,补正对于前述移载臂部之感应器教导基准位置的前述临时位置座标,以作为合适位置座标;及记忆工程——将所检出之前述缺口标记位置,作为前述方向定位装置之定位方向记忆于前述控制部。5.如申请专利范围第4项所述之搬送系统之位置对合方法,其特征在于:前述负载锁室,系设成两个,而在各负载锁室分别容纳有前述被搬送体载置台。6.如申请专利范围第3项所述之搬送系统之位置对合方法,其中:在前述负载锁室,连结有一具有用来载置前述被搬送体于内部之处理室;在前述负载锁室,设有移载臂部,此移载臂部备有:一构成得向内部自由屈伸及旋回之移载臂本体、及一设在移载臂本体前端以用来保持被搬送体之第二保持部;前述被搬送体,系在周缘部形成有缺口标记;前述位置姿势检出疗,也可检出被搬送体之缺口标记之位置;其特征在于更包含有:输入工程——将对于感应器上之给定位置即感应器教导基准位置之临时位置座标,预先输入于前述控制部;移载工程——在根据感应器教导基准位置之临时位置座标的控制下,将正确地位置对合于前述感应器教导基准位置来载置的被搬送体,藉由前述移载臂部搬送到前述负载锁室,以进行移载;移载工程——藉由前述搬送臂部,将载置在前述负载锁室之前述被搬送体搬送到前述旋转基准台,以进行移载;检出工程——藉位置姿势检出部来检出载置在前述旋转基准台的前述被搬送体之偏心量、偏心方向及缺口标记之位置;补正工程——根据所检出之偏心量及偏心方向,补正对于前述移载臂部之感应器教导基准位置的前述临时位置座标及对于前述搬送臂部之负载锁教导基准位置的前述临时位置座标之两方,或其中之一方,以作为合适位置座标;及记忆工程——将所检出之前述缺口标记位置,作为前述方向定位装置之定位方向记忆于前述控制部。7.如申请专利范围第6项所述之搬送系统之位置对合方法,其特征在于:前述负载锁室,系设成与前述处理室成对,而在各负载锁室分别容纳有前述被搬送体载置台。8.如申请专利范围第2项所述之搬送系统之位置对合方法,其中:前述搬送臂部,系备有一与前述搬送本体平行地采取前述卡式容器内之前述被搬送体的变换资讯之变换臂;在前述保持部之移动区域内,设有一向水平方向出射水平检出光的发光装置;及配置一受光装置,以便受光来自发光装置之水平检出光;其特征在于更包含:距离资讯求出工程——将自发光装置向水平方向出射之水平检出光作为基准,在发光装置之附近使前述搬送臂相对地向高度方向移动,以求出前述搬送臂本体与前述变换臂间之距离资讯;资讯提取工程——每卡式容器,提取变换资讯;及补正工程——根据前述距离资讯及前述变换资证,就Z座标补正前述临时位置座标,以作为合适位置座标。9.如申请专利范围第1项所述之搬送系统之位置对合方法,其更包含有:位置对合工程——随各临时位置座标之输入工程之后,立即对后各教导基准位置进行概略之位置对合;及置换工程——将藉由前述概略位置对合所取得之位置座标作为新临时位置座标来转换。10.如申请专利范围第2项所述之搬送系统之位置对合方法,其更包含有:移载工程——当补修或交换前述保持部或前述搬送臂本体时,将正确地位置对合保持于前述保持之被搬送体,搬送到前述旋转基准台以进行移载;检出工程——藉位置姿势检出部来检出载置在前述旋转基准台的前述被搬送体之偏心量及偏心方向;及补正工程——根据该所检出之偏心量及偏心方向,补正前述搬送臂部之所有合适位置座标的R座标及座标,以作为新合适位置座标。11.如申请专利范围第2项所述之搬送系统之位置对合方法,其特征在于更包含:移载工程——当补修或交换前述保持部或前述搬送臂本体时,将正确地位置对合保持于前述保持之被搬送体,搬送到前述旋转基准台以进行移载;检出工程——藉位置姿势检出部来检出载置在前述旋转基准台的前述被搬送体之偏心量及偏心方向;及补正工程——根据该所检出之偏心量及偏心方向,补正前述搬送臂部之所有合适位置座标的X座标及R座标,以作为新合适位置座标。12.如申请专利范围第2项所述之搬送系统之位置对合方法,其特征在于更包含:距离资讯求出工程——将补修或交换前述保持部或前述搬送臂本体时,将向水平方向出射之水平检出光作为基准,使前述搬送臂部相对地向高度方向移动,藉此求出前述搬送臂本体与前述变换臂间之距离资讯;变换资讯提取工程——每卡式容器,提取变换资讯;及补正工程——根据前述距离资讯及变换资讯,补正前述搬送臂部之所有合适位置座标之Z座标,以作为合适位置座标。13.如申请专利范围第4项所述之搬送系统之位置对合方法,其特征在于更包含:移载工程——当补修或交换前述第二保持部或前述移载臂本体时,将正确地位置对合载置在前述第二保持部之被搬送体,藉由前述移载臂部搬送到前述负载锁室,以进行移载;移载工程——藉由前述搬送臂部,将载置在前述负载锁室之前述被搬送体搬送到前述旋转基准台;检出工程——藉位置姿势检出部来检出载置在前述旋转基准台的前述被搬送体之偏心量及偏心方向;及补正工程——根据该所检出之偏心量及偏心方向,补正该搬送臂部之所有合适位置座标,以作为新合适座标。14.如申请专利范围第1项所述之搬送系统之位置对合方法,其特征在于:前述搬送系统,系构成:于求出了前述合适位置座标后之动作中,未保持前述被搬送体之状态时的前述搬送臂部特定部位之座标,可在任意之时候藉前述方向定位装置之位置姿势检出部或移动区域内之水平检出装置来求出,藉此可检出动作中所产生之前述保持部的位置偏差。15.如申请专利范围第14项所述之搬送系统之位置对合方法,其特征在于:前述搬送臂部之特定部位为,形成在前述搬送臂部之光透射窗。16.如申请专利范围第14项所述之搬送系统之位置对合方法,其特征在于:前述搬送臂部之特定部位为形成在前述搬送臂部之特定地方的边缘。17.如申请专利范围第1项所述之搬送系统之位置对合方法,其特征在于:前述搬送臂本体及前述保持部,分别设有二个。18.如申请专利范围第4项所述之搬送系统之位置对合方法,其特徽在于:前述移载臂本体及前述第二保持部,分别设有二个。19.如申请专利范围第1项所述之搬送系统之位置对合方法,其特征在于更包含:移载工程——在根据定向器教导基准位置之合适位置座标之控制下,将正确地位置对合保持于前述保持部之被搬送体,搬送到前述旋转基准台以进行移载;检出工程——藉位置姿势检出部来检出装置在前述旋转基准台的前述被搬送体之偏心量及偏心方向;及确认工程——根据该所检出之偏心量及偏心方向,确认前述定向器教导基准位置之合适位置座标。20.如申请专利范围第1项所述之搬送系统之位置对合方法,其特征在于更包含:移载工程——在根据各教导基准位置之合适位置座标的控制下,将正确地位置对合于前述各教导基准位置之被搬送体,搬送到前述旋转基准台以进行移载;检出工程——藉位置姿势检出部来检出载置在前述旋转基准台之前述被搬送体之偏心量及偏心方向;及确认工程——根据该所检出之偏心量及偏心方向,确认对于前述各教导基准位置之前述合适位置座标。图式简单说明:第一图为一概略构成图,系显示为实施本发明方法而实施之丛集式工具装置。第二图系显示变换臂之概略构成图。第三图系显示变换臂之平面图。第四图系变换时之动作说明图。第五图系显示方向定位装置之侧面图。第六图为一平面图,系显示将被搬送体载置于方向定位装置之状态。第七图系显示方向定位装置之检出波形的一例。第八图系显示各教导基准位置。第九图系显示定位基本动作的流程图。第十图系显示定位操作之流程图。第十一图系显示定位操作之流程图。第十二图为一流程图,系显示一在第十图中之步骤S20进行的变换操作(调整Z座标)。第十三图为一流程图,系显示对搬送臂部进行修复之情况。第十四图为一流程图,系显示核对通常动作中会否产生叉之位置偏差的情况。第十五图为一说明图,系用以说明检出叉特定位置时之动作。第十六图为一说明图,系用以说明检出叉特定位置时之动作。第十七图为一说明图,系用以说明检出叉特定位置时之动作。第十八图为一概略构成图,系显示分别设置搬送臂本体及移载臂本体各二个时之丛集式工具装置。第十九图为一概略构成图,系显示搬送系统之其他构成例。第二十图系包含合适位置座标之确认工程时之流程图。 |
