SEMICONDUCTOR DEVICE WITH NANO STRUCTURES AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME

摘要

폴리머를 다이렉트 코팅 프로세스를 통해 기재에 공급하여 금속이온을 기재에 부착하고, 그 금속이온을 환원 및 성장시켜 나노입자들을 제조한다. 이러한 나노구조체는 비휘발성 메모리장치 등 다양한 반도체 장치에 응용된다.