内圆锥角激光干涉测量装置及方法

摘要

内圆锥角激光干涉测量装置及方法属于激光测量技术领域。现有技术为接触测量，可能损伤被测工件。在本发明之测量装置中，激光器与分光镜同光轴排列，分光镜与光轴夹角为45°；显微镜CCD位于分光镜的反射光轴上，显微镜CCD接计算机。本发明之测量方法其特征在于，激光器发出的一束激光被分光镜分光为测量光和参考光，由相交的测量光的光轴和参考光的光轴确定的平面与待测内圆锥器件的圆锥面的任意一个子午面重合，测量光被圆锥面两次反射后与参考光交汇，沿参考光光轴将显微镜CCD感光面的位置调整到测量光与参考光的交汇处，显微镜CCD将测量光与参考光交汇后产生的干涉条纹图像发送给计算机，由计算机分析得到干涉条纹间距，再根据公式计算内圆锥角。

主权项

一种内圆锥角激光干涉测量装置，其特征在于，激光器(1)与分光镜(2)同光轴排列，分光镜(2)与光轴夹角为45°；显微镜CCD(3)位于分光镜(2)的反射光轴上，显微镜CCD(3)接计算机(4)。