| 摘要 |
【課題】 差周波発生によって生成された光を好適に出力することが可能な量子カスケードレーザを提供する。【解決手段】 半導体基板１０と、基板の第１面１０ａ上に設けられ、発光層及び注入層からなる単位積層体が多段に積層された活性層１５とを備えて、量子カスケードレーザ２Ａを構成する。活性層１５は、周波数ω１の第１ポンプ光及び周波数ω２の第２ポンプ光を生成可能であって、差周波発生によって差周波数ωの出力光を生成するように構成されている。活性層１５を含む素子構造部１１の外部には、第１ポンプ光を生成する外部共振器を構成し、周波数ω１を変更可能に構成された外部回折格子２５が設けられている。また、基板の第２面１０ｂにおいて、共振方向と交差する方向にそれぞれ形成された複数の溝１２が設けられている。【選択図】 図１ |
