| 摘要 |
【課題】高速析出反応でありながらも多結晶シリコン表面のポップコーン発生を抑制し且つ反応ガスの熱分解に起因する粉の発生を防止する技術を提供すること。【解決手段】６つのガスノズル９が底板５のに中心を有する仮想円Ｓ上の６回対称位置に配置されている。このうち、４つのガスノズル９ｖは、ガス噴出の中心ベクトルの方向が底板５に垂直な方向である鉛直噴出ノズルであり、２つのガスノズル９ｃは、ガス噴出の中心ベクトルが仮想円Ｓの接線方向に成分を有している斜方噴出ノズルである。斜方噴出ノズル９ｃから供給される反応ガスは、その仮想円Ｓの接線方向に成分により、チャンバ１内での反応ガスの循環に旋回力を付与し、反応ガスがチャンバ１内を旋回しながら全体循環する状態を形成する。そして、この旋回成分により反応ガスの混合状態は更に良好なものとなる。【選択図】図３Ａ |
