パッシブローターによるロボットの駆動

摘要

【課題】ロボット駆動のモーター固定子から熱を除去しハウジングに伝達させる。【解決手段】基板搬送装置２のロボット駆動部１０は、固定子を囲繞するエンクロージャーを備える、モーター１０８、１０９の固定子と、モーターを少なくとも一部収納するように構成されるロボットドライブハウジング１０５と、エンクロージャーをロボットドライブハウジングに連結する連結部と、を備える。連結部は、エンクロージャーからロボットドライブハウジングへの放熱を行い、エンクロージャーとともに固定子から熱を除去し、熱をロボットドライブハウジングに伝導させるための、固定子からハウジングまでの伝熱シンク経路を形成する。【選択図】図１