| 摘要 |
【課題】結露を防止しつつ、低コストかつ高精度にクリーンルーム内の室圧や湿度を制御可能なクリーンルーム用空調システムを提供する。【解決手段】建屋４に配置されたクリーンルーム１，２に建屋４の外気を導く給気用ダクト１０と、給気用ダクト１０を通流し、クリーンルーム１，２に温調したエア（外気）を給気、温調又は温調と除湿とをする空調機１１と、クリーンルーム１，２に給気する外気を加湿する蒸気放出管１１ｃと、クリーンルーム１，２からの排気を、天井裏３に排気する天井排気ユニット４０と、天井排気ユニット４０によって排気が排出される天井裏３の露点温度を計測する露点温度計３３と、露点温度計３３により計測された露点温度に基づいて、クリーンルーム１，２に給気する温調されたエア（外気）への加湿量を変化させるように蒸気放出管１１ｃを制御するコントローラ５０と、を備える【選択図】図１ |
