发明名称 一定質量流量多層冷却液経路静電チャック
摘要 ワークピースサポートは、上側内壁と下側内壁とを備える容器を備える。内部空間が、上側内壁と下側内壁との間に形成される。保持面が、ワークピースサポートを支持するように構成される。プレートは、内部空間に配置され、内部空間を上部空間と下部空間とに分ける。上部および下部空間は、プレートの周囲において流通可能に接続される。一つ以上の上側内壁およびプレートの上側部分において形成される第一テーパは、上部空間の放射断面において実質的に一定の大きさとなる。一つ以上の下側内壁およびプレートの下側部分において形成される第二テーパは、下部空間の放射断面において実質的に一定の大きさとなる。第一および第二穴は、上部および下部空間を、それぞれ第一および第二流路へ、流通可能に接続する。
申请公布号 JP2017506825(A) 申请公布日期 2017.03.09
申请号 JP20160551255 申请日期 2015.02.06
申请人 アクセリス テクノロジーズ, インコーポレイテッド 发明人 リー,ウィリアム デイビス
分类号 H01L21/683;H02N13/00 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人
主权项
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