| 摘要 |
ガラスフィルムのハンドリング性の向上を図りつつ、ガラスフィルムの歩留まりおよび良品率の向上を実現するガラスフィルム積層体およびガラスフィルム積層体の製造方法を提供する。支持ガラス１２上にガラスフィルム１０を積層して作製されるガラスフィルム積層体１の製造方法であって、ガラスフィルム１０と支持ガラス１２の少なくとも周辺部１０ｄ・１２ｄに超音波ＵＳを印加する超音波印加工程（ＳＴＥＰ−１−１）と、超音波印加工程（ＳＴＥＰ−１−１）を経たガラスフィルム１０と支持ガラス１２を洗浄する洗浄工程（ＳＴＥＰ−１−２）と、洗浄工程（ＳＴＥＰ−１−２）を経た支持ガラス１２上にガラスフィルム１０を積層してガラスフィルム積層体１を作製する積層工程（ＳＴＥＰ−１−３）と、を備える。 |
