| 摘要 |
基板処理装置は、筐体（21）と、筐体の内部に位置する中空の揺動アーム（23）とを備える。揺動アームは、筐体に接続される中空の揺動中心軸部（23a）と、揺動端である中空の連結軸部（23b）とを含む。更に、基板処理装置は、筐体の内部に位置し、基板と向かい合う処理空間を揺動中心軸部の軸方向（P）と直交する方向に移動して基板に処理を施す処理部（22）を備える。処理部は、処理部の移動に追従して連結軸部（23b）が処理部と並進可能となるように連結軸部に連結されている。従って、処理部（22）の移動によって揺動アーム（23）が揺動する。更に、基板処理装置は、揺動アーム（23）の内部に位置し、揺動中心軸部（23a）内を通じて筐体の外部に位置するユーティリティに接続され、かつ連結軸部（23b）内を通じて処理部に接続される接続ラインを備える。 |
