| 摘要 |
本発明の一局面は、互いに同じ形状の複数の部材を周期的に設けた格子領域を格子形成母材の一方面に形成する格子形成工程と、前記格子領域の格子面の面上に、応力を生じさせる応力層を形成する応力層形成工程と、前記応力層に支持基板を貼合する貼合工程と、前記支持基板を貼合した前記格子形成母材の前記一方面に対向する他方面を研磨する研磨工程と、前記支持基板を前記応力層から剥離する剥離工程とを備え、前記研磨工程は、前記剥離工程後に前記格子形成母材が前記応力層により生じる応力で湾曲するように研磨する工程である、湾曲型格子の製造方法である。 |
