发明名称 感光性樹脂組成物、硬化膜の製造方法、硬化膜、液晶表示装置および有機EL表示装置
摘要 高感度を維持しつつ、体積抵抗率の高い感光性樹脂組成物、その硬化膜の製造方法、硬化膜、液晶表示装置および有機EL表示装置の提供。(A)下記(1)および(2)の少なくとも一方を満たす重合体を含む重合体成分、(1)(a1)酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位、および(a2)架橋性基を有する構成単位、を有する重合体(2)(a1)酸基が酸分解性基で保護された基を有する構成単位を有する重合体、および(a2)架橋性基を有する構成単位を有する重合体(B)下記一般式(I)で表される光酸発生剤、および(C)溶剤、を含有する感光性樹脂組成物。
申请公布号 JPWO2015046501(A1) 申请公布日期 2017.03.09
申请号 JP20150539420 申请日期 2014.09.29
申请人 富士フイルム株式会社 发明人 崎田 享平
分类号 G03F7/004;G02F1/1333;G03F7/039;H01L51/50;H05B33/22 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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