感放射線性組成物及びパターン製造方法

摘要

感度、保存安定性、塗布性、現像性、及び安全性に優れ、露光及び現像により、異物の発生が抑制されたパターンを形成することができる感放射線性組成物及びそれを用いたパターン製造方法を提供する。本発明に係る感放射線性組成物は、下記一般式（１）で表される化合物を含有する。式中、Ｒ１は、水素原子又はヒドロキシル基を表し、Ｒ２及びＲ３は、独立に水素原子又はＣ１〜Ｃ３のアルキル基を表し、Ｒ４及びＲ５は、独立にＣ１〜Ｃ３のアルキル基を表す。