| 摘要 |
Erzielen eines scharfen Endbilds, indem verhindert wird, dass ein Fehler oder dergleichen auf einem optischen Element in ein Zwischenbild eingeblendet wird, selbst wenn das Zwischenbild an einer Position erzeugt wird, die mit dem optischen Element überlappt. Eine Beobachtungsvorrichtung (1) der vorliegenden Erfindung umfasst: ein bilderzeugendes optisches System (3), das bilderzeugende Linsen (11, 12, 15) aufweist, die ein Endbild (IF) und mindestens ein Zwischenbild (II) erzeugen, einen ersten Phasenmodulator (10), der eine räumliche Störung auf die Wellenfront von Licht anwendet, und einen zweiten Phasenmodulator (14), der die räumliche Störung aufhebt; eine Lichtquelle (6); einen xy-Scanning-Abschnitt (13), der einen ersten und einen zweiten Scanner (13a, 13b) umfasst; und einen Photodetektor. Die beiden Phasenmodulatoren (10, 14) sind an Positionen angeordnet, die optisch mit dem ersten Scanner (13a) konjugiert sind, und weisen eine eindimensionale Phasenverteilungseigenschaft auf, die sich in der Abtastrichtung des Beleuchtungslichts ändert. |
