エタロン及び寸法測定装置

摘要

【課題】反射膜同士を高精度に容易にアライメントすることができる構造の簡単なエタロン及びそのエタロンを備えた寸法測定装置を提供する。【解決手段】寸法測定装置は、ボールレンズによってエタロン１４を構成した。エタロン１４の光入射面１４ａと光出射面１４ｂにそれぞれ備えられる反射コート１４Ａ、１４Ｂ同士の距離は、ボールレンズの直径で一義的に定まる。よって、反射コート１４Ａ、１４Ｂ同士を高精度に容易にアライメントすることができる。【選択図】図２