FINFET-BAUELEMENT UND VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNG

摘要

Ein FinFET-Bauelement weist ein Substrat, eine Finne, die auf dem Substrat ausgebildet ist, und eine Gate-Elektrode auf, die die Finne kreuzt. Die Gate-Elektrode hat einen Kopfteil und einen Endteil, wobei der Endteil mit dem Kopfteil verbunden ist und zu dem Substrat hin verlängert ist. Die Breite des Kopfteils ist größer als die des Endteils.