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Strukturen und Verfahren zum Schützen von Membranen auf Drucksensoren. Ein Beispiel kann einen Drucksensor bereitstellen, welcher einen rückseitigen Hohlraum aufweist, welcher einen Rahmen unter einer Membran definiert, welche in einer Vorrichtungsschicht gebildet ist. Der Drucksensor kann weiterhin einen Aufsatz beinhalten, welcher mit der Vorrichtungsschicht durch eine Bindungsschicht verbunden ist. Eine Vertiefung für einen Referenzhohlraum kann in einem oder mehreren, dem Aufsatz, der Bindungsschicht und Membrane oder einem anderen Vorrichtungsschichtteil gebildet sein. Die Vertiefung kann eine Breite aufweisen die zumindest in einer Richtung schmaler als eine Breite des rückseitigen Hohlraums ist. In anderen Beispielen kann die Vertiefung so geformt sein, dass sie eine äußere Kante aufweist, die in einer äußeren Kante des rückseitigen Hohlraums liegt. Dies kann die Verbindung der Vorrichtungsschicht und des Rahmens verstärken. Die Vertiefung kann eine von der Vorrichtungsschicht und der rückseitigen Hohlraumverbindung weg beabstandete aktive Membran definieren. |
