摘要 |
【課題】単位時間当たりの処理能力が低下することを抑制できるシート剥離装置を提供すること。【解決手段】シート剥離装置10は、剥離用テープPTを接着シートASに貼付する貼付手段20と、接着シートASに貼付された剥離用テープPTに張力を付与して被着体WFから接着シートASを剥離する引張手段30と、引張手段30で剥離された接着シートASを折り畳む折畳手段80とを備え、引張手段30は、被着体WFから剥離した接着シートASが2つ折りになるように当該接着シートASを誘導する誘導手段32を備え、折畳手段80は、誘導手段32によって2つ折りとされた接着シートASに圧着力を付与する圧着手段82を備えている。【選択図】図1 |