发明名称 半導体装置
摘要 【課題】短チャネル効果に耐性を有するトランジスタを提供する。【解決手段】環状に設けられた第1の導電体と、第1の導電体の環の内側を通して伸長した領域を有する酸化物半導体と、第1の導電体と、酸化物半導体との間に設けられた第1の絶縁体と、第1の導電体と、第1の絶縁体との間に設けられた第2の絶縁体と、第1の導電体の環の内側に設けられた電荷捕獲層と、を有し、電荷捕獲層は、第2の絶縁体中に設けられ、フローティング状態にすることができる。【選択図】図1
申请公布号 JP2017050537(A) 申请公布日期 2017.03.09
申请号 JP20160165392 申请日期 2016.08.26
申请人 株式会社半導体エネルギー研究所 发明人 鈴木 陽夫;松田 慎平;山崎 舜平
分类号 H01L21/8242;B82Y30/00;H01L21/336;H01L27/108;H01L29/06;H01L29/786;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/8242
代理机构 代理人
主权项
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