| 发明名称 | 一种刻蚀机台设备传送隔离阀门装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型提出一种刻蚀机台设备传送隔离阀门装置，所述刻蚀机台设备包括相互连接的工艺腔体和传送模块，其特征在于，所述工艺腔体靠近连通传送模块侧设置有第一传送隔离阀门，所述传送模块靠近连通工艺腔体侧设置有第二传送隔离阀门。本实用新型提出的刻蚀机台设备传送隔离阀门装置，在刻蚀机台设备里加装一组传送隔离阀门，两组传送隔离阀门分别在腔体和传送模块保养时进行保养，减少整机停机时间，提升运行时间，增加工厂产能。 | ||
| 申请公布号 | CN206148413U | 申请公布日期 | 2017.05.03 |
| 申请号 | CN201621209726.7 | 申请日期 | 2016.11.09 |
| 申请人 | 上海华力微电子有限公司 | 发明人 | 汤介峰;潘无忌;刘东升;朱骏;张旭升 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/677(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 智云 |
| 主权项 | 一种刻蚀机台设备传送隔离阀门装置，所述刻蚀机台设备包括相互连接的工艺腔体和传送模块，其特征在于，所述工艺腔体靠近连通传送模块侧设置有第一传送隔离阀门，所述传送模块靠近连通工艺腔体侧设置有第二传送隔离阀门。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江开发区高斯路568号 | ||