基板分割装置

摘要

本发明的基板分割装置稳定地分割基板。其包括：环形的第一平型传送带(110)，在将基板承载成使得划片槽的排列方向与传输方向平行的状态下传输基板，其表面用聚氨酯树脂覆盖；第一驱动滑轮(130)，驱动第一平型传送带(110)；环形的第二平型传送带(120)，被配置在第一平型传送带(110)的上方，其表面用聚氨酯树脂覆盖；第二驱动滑轮(140)，具有与第一驱动滑轮(130)的转动轴平行的转动轴，驱动第二平型传送带(120)；第一按压滑轮(150)，具有与第一驱动滑轮(130)的转动轴平行的转动轴，与第一平型传送带(110)的内周面相接触；以及第二按压滑轮(160)，具有与第二驱动滑轮(140)的转动轴平行的转动轴，与第二平型传送带(120)的内周面相接触。

主权项

一种基板分割装置，对每隔一定间隔设置有划片槽的基板进行分割，其特征在于，包括：环形的第一平型传送带，其在将所述基板承载成使得所述划片槽的排列方向与传输方向平行的状态下，传输所述基板，并且，所述第一平型传送带的表面用聚氨酯树脂覆盖；第一驱动滑轮，其驱动所述第一平型传送带；环形的第二平型传送带，其被配置在所述第一平型传送带的上方，并且，所述第二平型传送带的表面用聚氨酯树脂覆盖；第二驱动滑轮，其具有与所述第一驱动滑轮的转动轴平行的转动轴，驱动所述第二平型传送带；第一按压滑轮，其具有与所述第一驱动滑轮的转动轴平行的转动轴，与所述第一平型传送带的内周面相接触；以及第二按压滑轮，其具有与所述第二驱动滑轮的转动轴平行的转动轴，与所述第二平型传送带的内周面相接触，所述第一平型传送带比所述第二平型传送带要厚，通过利用所述第一按压滑轮和所述第二按压滑轮来按压处于被所述第一平型传送带与所述第二平型传送带夹持的状态下的所述基板，从而在所述划片槽的位置分割所述基板。