电子特气充装返料装置

摘要

本发明一种电子特气充装返料装置，包含充装排、灌装瓶和安装在充装排入口的充装阀，所述充装排包含充装管路、取样管路及返料管路，所述返料管路一端与充装管路连通，另一端通过返料阀与充装管路入口连接，取样管路通过取样阀与充装管路连接。本发明结构简单、设计新颖合理，与现有技术相比，能够直接在一套设备上完成充装、返料、取样工序，有效节约了高纯气体资源，提高工作效率，节省设备成本，满足高纯气体大流量生产的需求，易于推广实施，具有较好的社会和经济效益。

主权项

一种电子特气充装返料装置，包含充装排、灌装瓶和安装在充装排入口的充装阀，其特征在于：所述充装排包含充装管路、取样管路及返料管路，所述返料管路一端与充装管路连通，另一端通过返料阀与充装管路入口连接，取样管路通过取样阀与充装管路连接。