一种滚珠表面镀膜的装置

摘要

本发明公开了一种滚珠表面镀膜的装置。本发明采用将上转盘通过限位孔与固定架固定，而下转盘与旋转轴相连的方式，即下转盘转动，上转盘固定不动，使得滚珠的各表面与旋转轴的旋转中心的距离不一样，进而导致滚珠的自转，使得直线传播的膜料均匀沉积在滚珠表面，使得滚珠表面的膜层更加均匀。

主权项

一种滚珠表面镀膜的装置，其特征在于，包括：旋转轴(4)、靶源(7)、离子源(8)、传动装置(9)和工装架；所述工装架由固定板(5)、固定杆(6)、旋转轴(4)和多个旋转组件组成；其中，旋转组件由上转盘(3)和下转盘(1)组成，上转盘(3)和下转盘(1)相对表面上均加工有一圈环形凹槽；上转盘(3)一侧装有限位块，且该限位块具有限位孔；其连接关系在于：下转盘(1)与旋转轴(4)固定连接；上转盘(3)通过中心孔与旋转轴(4)套接且位于下转盘(1)上方；将工装架中的固定板(5)安装在真空室顶壁，且固定杆(6)与固定板(5)垂直连接；上转盘(3)通过限位块中的限位孔与固定杆(6)套接；将待制备的滚珠(2)装备在上转盘(3)和下转盘(1)之间的环形凹槽上；所述传动装置(9)安装在真空室外壁任意位置，且其输出端垂直于水平面并与工装架中的旋转轴(4)固定连接；所述靶源(7)和离子源(8)位于工装架四周任意位置。