一种红外探测器结构及其制备方法

摘要

本发明的目的是提供一种红外探测器结构及其制备方法。具体地，一种红外探测器结构，包括：衬底、主体桥面，以及：绝热梁，用于支撑主体桥面悬于衬底上方，使得主体桥面与衬底相分离；连接柱，用于连接衬底与绝热梁；其中，衬底朝向主体桥面的端面上具有红外反射薄膜，主体桥面包含电极薄膜图形和热敏薄膜图形，电极薄膜图形包括分别由梳齿状图形构成的正极图形和负极图形，正极图形和负极图形的梳齿交错排列，之间形成来回弯折的条形区域，条形区域包含热敏薄膜区域以及通孔区域，其中，通孔区域位于条形区域的弯折处，将热敏薄膜区域分割为多个独立的长方形区域。与现有技术相比，本发明解决了电极交错配置的不均匀电流及尖端放电缺陷。

主权项

一种红外探测器结构，包括：衬底、主体桥面，以及：绝热梁，用于支撑所述主体桥面悬于所述衬底上方，使得所述主体桥面与所述衬底相分离；连接柱，用于连接所述衬底与所述绝热梁；其中，所述衬底朝向所述主体桥面的端面上具有红外反射薄膜，所述主体桥面包含电极薄膜图形和热敏薄膜图形，所述电极薄膜图形包括分别由梳齿状图形构成的正极图形和负极图形，所述正极图形和负极图形的梳齿交错排列，之间形成来回弯折的条形区域，所述条形区域包含热敏薄膜区域以及通孔区域，其中，所述通孔区域位于所述条形区域的弯折处，将所述热敏薄膜区域分割为多个独立的长方形区域。