用于气相传输沉积系统的给料器系统和给料方法

摘要

一种改进了的用于气相传输沉积系统的给料器系统和给料方法，其包括载气旁路流线，以在将粉末材料和载气供应至蒸发器单元的振动单元不能工作时使载气连续地流至蒸发器单元。当粉末材料包括材料混合物中的粉末掺杂剂时，可以包括到达振动单元的工艺气体流线。

主权项

一种用于气相传输沉积系统的给料器系统，所述给料器系统包括：粉末振动单元，用于提供粉末材料；载气输入流线，用于将载气引导到粉末振动单元中；输出流线，用于将粉末振动单元的输出物引导至蒸发器单元；以及载气旁路流线，用于选择性地将气体引导至蒸发器单元中并绕开粉末振动单元，颗粒过滤器，结合到载气旁路流线，以防止粉末从输出流线流入到载气旁路流线中。