发明名称 一种粗化倒装GaAs基LED外延片
摘要 本实用新型涉及一种粗化倒装GaAs基LED外延片,自上而下依次包括腐蚀阻挡层、AlInP下限制层、多量子阱发光区、AlInP上限制层、电流扩展层、SiC衬底或Si衬底,所述腐蚀阻挡层上设有凸起结构体及凹陷结构体。凸起结构体或凹陷结构体的设置,增加了表面的粗糙度,提高了倒装GaAs基LED外延片的出光效率,使实际出光率达到90%以上,解决了出光效率低的问题。
申请公布号 CN206148465U 申请公布日期 2017.05.03
申请号 CN201621159108.6 申请日期 2016.10.25
申请人 山东浪潮华光光电子股份有限公司 发明人 李志虎;张新;于军;王成新;徐现刚
分类号 H01L33/22(2010.01)I;H01L33/30(2010.01)N 主分类号 H01L33/22(2010.01)I
代理机构 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 代理人 杨树云
主权项 一种粗化倒装GaAs基LED外延片,其特征在于,自上而下依次包括腐蚀阻挡层、AlInP下限制层、多量子阱发光区、AlInP上限制层、电流扩展层、SiC衬底或Si衬底,所述腐蚀阻挡层上设有凸起结构体及凹陷结构体。
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