衬底移除设备以及使用其制造平板显示装置的方法

摘要

本发明提供了包括初始间隙形成单元和前吸附型移除单元的衬底移除设备以及其中使用该衬底移除设备分离辅助衬底的制造平板显示装置的方法。通过使用辅助衬底容易地执行制造薄板衬底的过程，并且针对过程完成了的衬底，通过使用包括具有台的前吸附型移除单元和初始间隙形成单元的衬底移除设备，可以将该辅助衬底容易地从板衬底分离，其中在该台上形成有翼型O形圈和多个真空吸附线。

主权项

一种衬底移除设备，包括：初始间隙形成单元，所述初始间隙形成单元被配置成当通过附着辅助衬底和板衬底而形成的母衬底被装载时在所述母衬底中形成初始间隙；以及前吸附型移除单元，所述前吸附型移除单元被配置成通过在其上已装载有形成有所述初始间隙的母衬底的台上形成的矩形翼型O形圈来真空吸附所述辅助衬底，以将所述辅助衬底从所述板衬底分离，其中，所述初始间隙形成单元包括：吸附台，被转移了的所述母衬底被装载到所述吸附台；推针模块，所述推针模块被配置成控制推针向所述母衬底的角切割部施压；视觉对准模块，所述视觉对准模块被配置成对在所述母衬底中形成的所述角切割部成像并且将所述推针定位成与所述角切割部对应；以及间隙刀模块，所述间隙刀模块被配置成将间隙刀施加于由所述推针施压于的所述角切割部的衬底接触部以形成初始间隙。