大气压磁增强与磁约束直流辉光放电离子源

摘要

本发明提出一种大气压磁增强与磁约束直流辉光放电离子源，更大程度地提高了该类型离子源的电离效率、离子传输效率，以及工作的稳定性。该大气压磁增强与磁约束直流辉光放电离子源，在腔体轴向外围且更接近出气端口、避开直流放电电极设置有一对隔着腔体平行相对的长方体永久磁体，磁场B1覆盖直流放电区域，磁场B1方向与直流放电区域的电流J垂直，且J×B1沿气体流动方向；沿腔体轴向同轴依次设置有两个同规格的环形永久磁体，使得两个环形永久磁体形成匀强磁场B2覆盖直流放电区域以及出气端口下游的等离子体射流区域，匀强磁场B2方向与腔体以及环形永久磁体的轴向一致。

主权项

大气压磁增强与磁约束直流辉光放电离子源，包括具有进气端口、出气端口的腔体和一对直流放电电极，腔体的腔壁为绝缘材料；直流放电电极的放电端更接近出气端口；腔体内直流放电区域的横截面积不大于1mm²；其特征在于：在腔体轴向外围且更接近出气端口、避开直流放电电极设置有一对隔着腔体平行相对的长方体永久磁体，磁场B1覆盖直流放电区域，磁场B1方向与直流放电区域的电流J垂直，且J×B1沿气体流动方向；沿腔体轴向同轴依次设置有两个同规格的环形永久磁体，其中一个环形永久磁体套在腔体外围并位于直流放电区域的进气侧，另一个环形永久磁体位于出气端口下游，两个环形永久磁体之间间距与环形永久磁体自身的半径相等，使得两个环形永久磁体形成匀强磁场B2覆盖直流放电区域以及出气端口下游的等离子体射流区域，匀强磁场B2方向与腔体以及环形永久磁体的轴向一致。