二自由度大行程大载荷微定位平台

摘要

本发明公开了一种二自由度大行程大载荷微定位平台，包括上平台和下平台，所述下平台设有基座；所述上平台包括一个居中设置的动平台，所述动平台与所述基座通过四个柔性立柱连接，四个所述柔性立柱分布在所述动平台下面的四个角部；每个所述柔性立柱由两个柔性虎克铰链串联形成，每个所述柔性虎克铰链由两个共面的圆形柔性铰链相贯形成；四个所述移动块中的两个相邻的所述移动块各由一音圈电机驱动作平动。本发明采用音圈电机作为驱动器，提供了大行程运动范围和亚微米级别的分辨率；采用柔性立柱连接动平台和基座，使定位平台的径向刚度非常大。

主权项

一种二自由度大行程大载荷微定位平台，其特征在于，包括上平台和下平台，所述下平台设有基座，在所述基座的四个角部设有支撑块；所述上平台包括一个居中设置的动平台和四个分设在所述上平台四个角部的固定块，所述动平台和四个所述固定块通过四个柔性支链连接，每个所述柔性支链包括一居中设置在相邻两个所述固定块之间的移动块和三个平行柔性结构，所述移动块与所述动平台通过一个所述平行柔性结构连接，所述移动块与位于其两侧的两个所述固定块各通过一个所述平行柔性结构连接，所述平行柔性结构由两个矩形柔性铰链并联形成；四个所述固定块与四个所述支撑块分别固接，所述动平台与所述基座通过四个柔性立柱连接，四个所述柔性立柱分布在所述动平台下面的四个角部；每个所述柔性立柱由两个柔性虎克铰链串联形成，每个所述柔性虎克铰链由两个共面的圆形柔性铰链相贯形成；四个所述移动块中的两个相邻的所述移动块各由一音圈电机驱动作平动，所述音圈电机固定在所述基座上。