一种在负极集流体材料上激光溅射沉积渔网状SiOx薄膜的制备方法

摘要

本发明公开了一种在负极集流体材料上激光溅射沉积渔网状SiOx薄膜的制备方法，以硅片作为溅射靶材，以负极集流体材料作为沉积基底，将负极集流体材料和硅片同时固定于试样台上，采用激光溅射沉积的方法，靶材硅片在激光的烧蚀作用下与背景气体氧气发生反应生成SiOx沉积在负极集流体材料基底上。将本发明制备得到的沉积有SiOx薄膜的负极集流体材料作为锂离子电池负极，是一种具有高容量和循环稳定性的锂离子电池负极材料，且不加入任何粘结剂和导电剂避免了添加剂对负极材料电化学性能的不良影响。本发明实施费用低、操作简便，可控性高，是一种高效经济的合成方法。

主权项

一种在负极集流体材料上激光溅射沉积渔网状SiOx薄膜的制备方法，其特征在于，步骤如下：步骤一、以硅片作为溅射靶材，以负极集流体材料作为沉积基底，将负极集流体材料和硅片同时固定于试样台上，调节硅片与负极集流体材料基底之间的夹角为40°～80°，且激光的入射方向在硅片与负极集流体材料基底之间的角平分线±5°的范围内；步骤二、关闭真空室抽真空至1×10³Pa以上，然后，通入氧气流量0.5‑2L/min，作为背景气体参与反应，激光溅射时真空度高于1×10²Pa；步骤三、调节脉冲激光器的激光脉冲宽度小于10ns，激光的能量密度大于1.4J/cm²，激光波长为532‑1064nm，频率为5‑20Hz，激光溅射沉积时间1‑5h，硅片在激光的烧蚀作用下与氧气发生反应，从而在负极集流体材料基底上沉积有渔网状SiOx薄膜；将所得到的沉积有渔网状SiOx薄膜的负极集流体材料基底作为锂离子电池负极。