| 发明名称 | 一种柔性石墨薄膜的制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明公布了一种柔性石墨薄膜的制备方法，其步骤依次为：(1)在一石英衬底上涂覆一层高温PMMA电子束胶；(2)再将PI胶涂覆在石英衬底上；(3)对黏附有PI胶的石英衬底放入烘箱进行固化；(4)将涂覆有PMMA电子束胶、PI胶的石英衬底放置在丙酮中进行剥离，形成PI膜；(5)将该PI膜放入碳化炉进行碳化，形成柔性石墨薄膜。本发明应用于柔性电子制造领域。 | ||
| 申请公布号 | CN106601589A | 申请公布日期 | 2017.04.26 |
| 申请号 | CN201611141941.2 | 申请日期 | 2016.12.12 |
| 申请人 | 东莞市广信知识产权服务有限公司;东莞华南设计创新院 | 发明人 | 刘丽蓉;王勇;丁超 |
| 分类号 | H01L21/02(2006.01)I;B32B38/10(2006.01)I;C01B32/205(2017.01)I | 主分类号 | H01L21/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 深圳市智圈知识产权代理事务所(普通合伙) 44351 | 代理人 | 韩绍君 |
| 主权项 | 一种柔性石墨薄膜的制备方法，其步骤依次为：(1)在一石英衬底上涂覆PMMA光刻胶，然后在180度热板上进行烘干；(2)再将PI胶涂覆在该石英衬底上；(3)将涂覆有PMMA胶和PI胶的石英衬底放入烘箱进行固化；(4)将石英片放入丙酮中进行剥离，形成PI胶膜；(5)将剥离出的PI膜放入碳化炉进行碳化，形成柔性石墨薄膜。 | ||
| 地址 | 523000 广东省东莞市松山湖高新技术产业开发区新竹路4号新竹苑13栋6楼607室 | ||