| 发明名称 | 一种真空蒸镀机及其蒸镀方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及平板显示技术领域，尤其是一种真空蒸镀机，包括控制台，以及安装于所述控制台上的承印台，所述承印台用于承载设置有隔离件的基板；打印装置，其与所述承印台对应设置，用于将各种材料蒸镀于所述基板的、相邻两个隔离件之间的蒸镀区域。本发明的真空蒸镀机避免了使用FMM，免去了FMM定期清洗；重新张网；FMM存储、运输、使用过程中易发生变形等问题，同时还简化了基板传送、承载方式。 | ||
| 申请公布号 | CN106591780A | 申请公布日期 | 2017.04.26 |
| 申请号 | CN201611198716.2 | 申请日期 | 2016.12.22 |
| 申请人 | 武汉华星光电技术有限公司 | 发明人 | 沐俊应 |
| 分类号 | C23C14/24(2006.01)I;C23C14/04(2006.01)I;C23C14/54(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/24(2006.01)I |
| 代理机构 | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人 | 孙伟峰;侯艺 |
| 主权项 | 一种真空蒸镀机，其特征在于，包括控制台，以及安装于所述控制台上的承印台，所述承印台用于承载设置有隔离件的基板；打印装置，其与所述承印台对应设置，用于将材料蒸镀于所述基板的、相邻两个隔离件之间的蒸镀区域。 | ||
| 地址 | 430070 湖北省武汉市东湖开发区高新大道666号生物城C5栋 | ||