大负载机械手臂机构

摘要

本发明涉及一种大负载机械手臂机构，包括机械手大臂、机械手小臂、托盘、立柱、大臂驱动电机和小臂旋转驱动电机。机械手小臂包括小臂主动连杆和小臂从动连杆，小臂主动连杆、小臂从动连杆的一端分别通过主动转动轴和从动转动轴连接机械手大臂；小臂主动连杆、小臂从动连杆的另一端分别通过两个托盘转动轴连接托盘。机械手大臂通过大臂转动轴与立柱连接。小臂主动连杆旋转驱动托盘的伸缩从而实现片盒的传输。本发明将半导体极大规模生产平台上载入载出方式改为机械手臂托盘承载方式，极大地降低了工作节拍时间，提高生产效率。

主权项

一种大负载机械手臂机构，其特征在于，包括机械手大臂、机械手小臂、托盘、立柱、大臂驱动电机和小臂旋转驱动电机；所述机械手大臂通过大臂转动轴连接到所述立柱；所述机械手小臂包括小臂主动连杆和小臂从动连杆，小臂主动连杆的一端和小臂从动连杆的一端分别通过主动转动轴和从动转动轴连接到所述机械手大臂；所述托盘通过两个托盘转动轴分别连接所述小臂主动连杆的另一端和所述小臂从动连杆的另一端；所述大臂驱动电机连接到所述机械手大臂，并驱动机械手大臂以大臂转动轴为中心旋转；所述小臂旋转驱动电机连接到所述小臂主动连杆，并驱动所述小臂主动连杆以主动转动轴为中心旋转。