发明名称 |
具有密封环的半导体器件 |
摘要 |
一种半导体器件,包括形成在密封环上并且热连接至密封环的热导体。热导体与导电焊盘空间地分离。热导体暴露于衬底并且可以被称作密封环的热路径的延伸,从而来自密封环的热量可以更有效率的散失。本发明实施例涉及具有密封环的半导体器件及其形成方法。 |
申请公布号 |
CN106601697A |
申请公布日期 |
2017.04.26 |
申请号 |
CN201610738929.3 |
申请日期 |
2016.08.26 |
申请人 |
台湾积体电路制造股份有限公司 |
发明人 |
庄志伟;曾仲铨;刘家玮;褚立新 |
分类号 |
H01L23/31(2006.01)I;H01L23/367(2006.01)I;H01L27/146(2006.01)I |
主分类号 |
H01L23/31(2006.01)I |
代理机构 |
北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 |
代理人 |
章社杲;李伟 |
主权项 |
一种半导体器件,包括:第一衬底;至少一个介电层,存在于所述第一衬底上;至少一个第一密封环,存在于所述介电层中;第二衬底,位于所述介电层上;以及至少一个第一热导体,存在于所述第二衬底中并且热连接至所述第一密封环,其中,所述第一热导体从所述第二衬底的表面暴露。 |
地址 |
中国台湾新竹 |