发明名称 具有密封环的半导体器件
摘要 一种半导体器件,包括形成在密封环上并且热连接至密封环的热导体。热导体与导电焊盘空间地分离。热导体暴露于衬底并且可以被称作密封环的热路径的延伸,从而来自密封环的热量可以更有效率的散失。本发明实施例涉及具有密封环的半导体器件及其形成方法。
申请公布号 CN106601697A 申请公布日期 2017.04.26
申请号 CN201610738929.3 申请日期 2016.08.26
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 庄志伟;曾仲铨;刘家玮;褚立新
分类号 H01L23/31(2006.01)I;H01L23/367(2006.01)I;H01L27/146(2006.01)I 主分类号 H01L23/31(2006.01)I
代理机构 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 代理人 章社杲;李伟
主权项 一种半导体器件,包括:第一衬底;至少一个介电层,存在于所述第一衬底上;至少一个第一密封环,存在于所述介电层中;第二衬底,位于所述介电层上;以及至少一个第一热导体,存在于所述第二衬底中并且热连接至所述第一密封环,其中,所述第一热导体从所述第二衬底的表面暴露。
地址 中国台湾新竹