氮化铝单结晶基板的洗净方法及层叠体

摘要

本发明的课题在于提供不会使氮化铝单结晶基板表面被蚀刻，而有效地去除存在于该基板表面尺寸1μm以下的细微异物的方法。本发明的解决手段是使用选自由氢氧化钾及氢氧化钠所组成的群的碱的浓度为0.01～1质量％的碱性水溶液，及硬度较氮化铝单结晶低的高分子化合物材料，以高分子化合物材料吸收该碱性水溶液的状态，对氮化铝单结晶基板表面进行擦刷洗净。

主权项

一种氮化铝单结晶基板的洗净方法，其包括将氮化铝单结晶基板的表面，使用硬度较氮化铝单结晶低且吸收碱性水溶液的高分子化合物材料，在上述高分子化合物材料接触上述基板表面的状态，在上述基板的表面的平行方向移动擦拭的擦刷洗净步骤，该碱性水溶液为选自由氢氧化钾及氢氧化钠所组成的群且碱的浓度为0.01～1质量％的碱性水溶液。