发明名称 一种机台设备的硬件测试方法和硬件测试系统
摘要 本发明实施例提供了一种机台设备的硬件测试方法和硬件测试系统,硬件测试方法包括以下步骤:根据测试需求分别配置每个待测试模块的信息和每个待测试模块的至少一个待测试服务的信息至配置文件;待测试模块的信息包括待测试模块的ID、测试优先级和对象路径,待测试服务的信息包括待测试服务的名称和参数;待测试服务的参数根据测试需求确定;上位机接收测试信号和配置文件;在上位机接收到测试信号和配置文件后,根据配置文件和测试优先级执行各个待测试模块的至少一个待测试服务的测试。本发明实施例能够根据实际测试需求配置需要测试的模块以及服务,从而增加了测试的灵活性,而且采用一键式对机台设备进行自动化测试,有效提高了测试效率。
申请公布号 CN106569943A 申请公布日期 2017.04.19
申请号 CN201510650263.1 申请日期 2015.10.09
申请人 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 发明人 牧净艳
分类号 G06F11/36(2006.01)I;G01M13/00(2006.01)I 主分类号 G06F11/36(2006.01)I
代理机构 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 代理人 苏培华
主权项 一种机台设备的硬件测试方法,所述机台设备包括多个信息可配置的模块,每个所述模块提供多个信息可配置的服务,每个所述服务的参数可配置,其特征在于,所述机台设备的硬件测试方法包括以下步骤:根据测试需求分别配置每个待测试模块的信息和每个所述待测试模块的至少一个待测试服务的信息至配置文件;所述待测试模块的信息包括所述待测试模块的ID、测试优先级和对象路径,所述待测试服务的信息包括所述待测试服务的名称和参数;所述待测试服务的参数根据所述测试需求确定;上位机接收测试信号和所述配置文件;在所述上位机接收到所述测试信号和所述配置文件后,根据所述配置文件和所述测试优先级执行各个所述待测试模块的至少一个所述待测试服务的测试。
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