用于提供顺序的功率脉冲的方法

摘要

本发明涉及一种用于提供用于PVD雾化阴极的功率脉冲的方法，PVD雾化阴极包括功率吸收部件和部分阴极，其中在发生器的功率建立间隔期间在功率吸收部件上降低功率并且接着在部分阴极上降低功率，其中如此切换，使得不必中断从提供功率的发生器提取功率。

主权项

一种用于提供具有可放缩的功率脉冲间隔的功率脉冲来驱动PVD雾化阴极的方法，其中PVD雾化阴极包括功率吸收部件和至少第一阴极或第一部分阴极，其中对于第一阴极或第一部分阴极预设最大平均功率施加，并且其中预设功率脉冲间隔的持续时间，并且所述方法包括如下步骤:a)提供发生器，其具有至少在功率建立间隔接通之后和结束之后预设的恒定功率输出，b)接通发生器，c)将功率吸收部件连接到发生器，使得功率吸收部件在功率建立间隔期间施加以发生器的功率，d)在功率建立间隔结束之后将发生器与功率吸收部件分离，e)将第一阴极或第一部分阴极连接到发生器，使得第一阴极施加以发生器的功率，f)在预设的对应于第一阴极或第一部分阴极的第一功率脉冲间隔结束之后将发生器与第一阴极或第一部分阴极分离，其特征在于，功率吸收部件不被用作要涂覆的或要处理的衬底的材料提供方，而且步骤d)和e)被如此实施，使得在将第一阴极或第一部分阴极连接到发生器上时不会出现第二功率建立间隔，这通过如下方式来实现：功率建立间隔和第一功率脉冲间隔在时间上重叠并且发生器的功率输出不必中断。