磨削方法

摘要

本发明提供一种磨削方法，其能够缩短磨削时间。磨削方法具有：预备磨削工序，在将要达到完工厚度之前，使用精磨削构件(80)对板状工件(W)进行磨削；厚度测量工序，对预备磨削后的板状工件的厚度进行测量；计算工序，根据测量出的板状工件的厚度，计算出在调整卡盘工作台(41)的倾斜度前后的卡盘工作台的保持面(42)和精磨削磨具(83)的磨削面(83a)之间的距离的变化量；以及高度调整工序，根据该变化量，在磨削面与板状工件的上表面接触的状态下，以精磨削磨具和板状工件的相对移动速度为零的方式，一边调整精磨削构件的高度一边调整卡盘工作台的倾斜度。

主权项

一种磨削方法，其使用具有以下部分的磨削装置：卡盘工作台，其保持板状工件；磨削构件，其使磨削磨具的磨削面抵接在该卡盘工作台所保持的板状工件的上表面，使该板状工件的厚度减小；磨削进给构件，其使该磨削构件接近和远离该卡盘工作台，在磨削进给方向上进行磨削进给；测量构件，其对通过该磨削构件磨削的板状工件的厚度进行测量；径向移动构件，其使该测量构件沿该卡盘工作台的径向移动；以及倾斜度调整构件，其调整该卡盘工作台和该磨削构件之间的倾斜关系，其中，该磨削方法由以下工序构成：预备磨削工序，使用该磨削构件，以未达到预先设定的完工厚度的厚度对板状工件进行磨削；厚度测量工序，借助该径向移动构件使该测量构件在通过该预备磨削工序被磨削的板状工件上沿径向移动，对径向上的厚度进行测量；计算工序，在根据在该厚度测量工序中测量出的测量结果，以径向上的完工厚度变得均等的方式通过该倾斜度调整构件调整该卡盘工作台和该磨削构件之间的倾斜关系时，计算出发生变化的该卡盘工作台的上表面和该磨削磨具的该磨削面之间的距离的变化量；高度调整工序，根据在该计算工序中计算出的该变化量使该磨削进给构件和该倾斜度调整构件一起动作，在通过该倾斜度调整构件进行倾斜度调整动作的过程中，维持该磨削面与该预备磨削工序中的板状工件的被磨削面接触的状态；以及精磨削工序，在该高度调整工序后，一边通过该测量构件测量板状工件的厚度一边通过该磨削进给构件对该磨削构件进行磨削进给，将板状工件磨削至预先设定的完工厚度。