一种探针台及低温测试系统

摘要

本发明涉及一种探针台及低温测试系统，低温测试系统包括低温测试台和为低温测试台制冷的制冷装置，低温测试台包括测试台腔室和可放入测试台腔室的探针台，测试台腔室包括设在测试台腔室下部的测试平台和罩设在测试平台上的腔室上盖，探针台包括样品台，样品台上设有用于与样品连接的探针，探针后端与测试台腔室内的电极可拆式连接，样品台上还设有用于固定样品的样品夹具，样品台具有自样品台上表面向下凹陷的样品放置凹槽。采用本发明的探针台及低温测试系统，探针台独立设置，不仅方便探针与样品电极的对位、保证对位的准确性和安全性，而且连接效率高。可解决传统样品测量时连接困难和连接时造成电极损伤的问题。

主权项

一种探针台，其特征在于：包括样品台，样品台上设有用于与样品连接的探针，探针的后端具有用于与测试台腔室内的电极连接的连接结构，样品台上还设有用于固定样品的样品夹具，样品台具有自样品台上表面向下凹陷的样品放置凹槽。